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半导体失效分析报告有效期限 检测周期和项目有多少
发布时间: 2024-12-18 点击次数: 41次半导体失效分析是确保半导体器件可靠性和性能的关键技术,它通过对失效半导体芯片的深入分析,确定其失效的根本原因。失效可能由多种因素引起,包括材料缺陷、设计不足、工艺问题、环境因素或操作失误。
失效分类
断裂失效:
应力腐蚀:材料在应力和腐蚀环境共同作用下发生的断裂。
高温应力断裂:材料在高温和应力长期作用下发生的断裂。
疲劳断裂:材料在反复应力作用下发生的断裂。
非断裂失效:
磨损失效:由于摩擦导致的材料表面磨损。
腐蚀失效:材料在化学或电化学作用下发生的损坏。
变形失效:材料在外力作用下发生的不可逆形变。
复合失效机理:
多种失效机理综合作用,如应力腐蚀和疲劳断裂的共同作用导致的失效。
失效分析的重要性
失效分析不仅有助于工艺的不断改进和优化,修复芯片设计中的缺陷,还为故障诊断提供了关键的证据支持。此外,它为生产测试环节提供了重要的补充,确保了产品质量和可靠性。
中科检测的半导体失效分析服务
中科检测凭借其专业的技术团队和CMA资质认证,为客户提供全面的半导体失效分析服务,以下是一些具体的失效现象和分析方法:
失效现象
开路:
EOS(电气过应力):由于电压或电流超过器件承受范围导致的损坏。
ESD(静电放电):静电放电造成的器件损坏。
电迁移:电流导致的金属迁移,引起线路断裂。
应力迁移:金属互连线的应力引起的断裂。
腐蚀:化学腐蚀导致的金属线路断裂。
键合点脱落:键合点因机械或热应力而脱落。
机械应力:外力导致的器件结构损坏。
热变应力:温度变化引起的应力导致器件损坏。
短路:
PN结缺陷:PN结区域的缺陷导致的短路。
PN结穿钉:PN结区域的穿透性缺陷。
介质击穿:绝缘材料因电应力而失效。
金属迁移:金属原子迁移导致的短路。
参漂:
氧化层电荷:氧化层中的电荷变化影响器件性能。
表面离子:表面吸附的离子影响器件的电性能。
芯片裂纹:芯片内部的裂纹导致性能下降。
热载流子:热载流子效应导致的器件参数变化。
辐射损伤:辐射导致的器件性能退化。
功能失效:
EOS、ESD:如实例一中的浪涌损坏,导致整流桥功能失效。
失效分析方法
目检:
观察芯片表面的各种缺陷,如沾污、裂纹、腐蚀等。
电测试:
测试器件的电性能参数,确认其功能是否正常。
X射线照相:
检查内部结构,如键合金丝的完整性、焊点焊接情况等。
超声扫描:
利用超声波检测封装结构中的内部缺陷。
扫描电镜及能谱:
分析失效样品的微观结构和化学成分。
密封检测:
判断器件的气密性和漏率。
PIND:
检测器件内是否存在多余的可动颗粒。
内部气氛检测:
测量器件内部的水汽、氧气、二氧化碳等气氛。
红外成像:
通过观察芯片表面的热点位置,诊断潜在的击穿或短路问题。
中科检测的半导体失效分析服务,不仅能够帮助客户找出问题的根源,还能够提供改进建议,从而提高产品的可靠性和市场竞争力。
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